酷企网消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“研磨方法及研磨设备”,专利申请号为CN202410355754.2,授权日为2024年7月9日。
专利摘要:本公开涉及一种研磨方法及研磨设备。该研磨方法,应用于研磨工序,包括:获取前道工序中所得目标结构的厚度量测数据,厚度量测数据包括目标结构中多个量测点的厚度值;根据厚度量测数据确定第一最大厚度值;于第一最大厚度值小于第一阈值时,按照预设研磨参数对目标结构进行研磨;于厚度量测数据对应的最大厚度值大于或等于第一阈值时,对目标结构进行区域划分,并对目标结构的不同区域分别确定目标研磨参数,以根据目标研磨参数对区域进行研磨。本公开利于提高产品表面的均匀度,并有效提升产品良率。
今年以来晶合集成新获得专利授权178个,较去年同期增加了61.82%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。
数据来源:企查查