低温等离子净化器的净化机理包括两个方面：第一，在等离子体产生过程，打开某些有害气体分子产生化学高能高频放电，这样氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲基二硫、二硫化碳和硫化氢VOC苯、甲苯、苯乙烯硫化物、X乙烯，分子链结构，使有机或无机恶臭化合物分解成单质原子或无害分子，包括高能量电子能，大量等离子体中的正离子和负离子产生激发态粒子和强氧化性的自由基，这些活性粒子和一些排气气体分子碰撞，在电场作用下分子处于兴奋状态，当结合气体分子获得的能量大于分子能量时，废气的分子键断裂，直接分解为废气的原子或无害的气体分子。同时产生大量的HO2、O、OH等活性自由基与氧化性强的O3，能与有害气体发生反应，最后生成无害的产物。
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