真空泵油是一种专门为真空设备上的真空泵而研制的润滑油，分矿物油和合成油两种。真空泵的特性可以概括不以一几点：氧化稳定性：长期在高温条件下与空气、树脂、化学原料等直接接触亦不易变质，减少有害漆膜和油垢的形成，提供较长的换油周期。防锈防腐蚀性：能在金属表面形成非常有效的防腐膜，从而可以全面防止因吸入腐蚀性气体和水分而导致的系统腐蚀。能迅速将油液中夹带的水分分离出来，达到所需的真空度。具较底的蒸汽压，防止油品从泵的内腔向真空系统返流扩散造成返油。从而保证有足够的极限真空。
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机械真空泵油的作用
(1)排气阀用泵油密封，可以防止大气经排气阀返入泵内，保证排气阀关闭时有良好的气密性。
(2)泵油通过油路、排气阀及装配间隙渗入泵胶，对泵的各个运动部件，如转子、旋片、轴承和轴封以及摩擦面等起润滑、密封和冷却作用。
(3)泵油能充填有害空间，减少其中的高压残余气体，从而大大减少有害空间对极限真空的影响。
(4)当真空度较高时，进入吸气空间的气体量很少，经压缩后的气体压强仍推不开排气阀片。此时，可借助于泵油将排气阀片强行推开，使被抽气体能顺利地排出。
机械真空泵油的使用
为减轻泵油在工作过程中的皂化象，可在泵入口处安装干燥器，内装五氧化二磷（P2O5 ）或冷阱．内装干冰（固体CO2），以吸收或冻结气体中的水分，在机械真空泵中不能使用含硫的油；并避免泵抽腐蚀性的气体和溶剂，因为它们会使真空泵油皂化。
真空泵油在使用过程中，有少数油分子发生分裂，使轻馏分逐渐增加，极限真空恶化，需要定期更换新鲜、干燥和请洁的真空泵油。
机械真空泵油的选择
(1)在真空泵油的工作温度下，泵油必须具有一定的粘度，且随温度的变化小，以保证良好的密封作用。粘度过小，密封性能不好，粘度过大，会使泵油难以进入率擦面的缝隙，润滑作用变差，同时，转子旋转困难，消耗功率增大，泵油也会过热。一般要求在20度时饱和蒸汽压不大于5.3*10-3 Pa;在50度时泵油的粘度应在（47~57）*10-6 m 2/s范围内，即可以满足要求。由于油的粘度随温度升高而下降，油的密封能变差，饱和蒸气压增大，使真空度降低。因此，规定真空泵油工作温度不得超过70度。
(2)真空泵油的饱积蒸气压要低，易挥发的轻馏分要少。因为泵的极限真空主要取诀于最轻馏分的蒸气压。大路通VM100真空泵油在20度时的饱和蒸气压为6.5*10-5 Pa，适用于各类机械真空泵。除用饱和蒸气压表示外，还可用泵油的着火温度（闪点）来表示，即在该温度下，聚集在油面的蒸气开始着火。因此，泵油的闪点愈高，易挥发的轻馏分愈少．饱和蒸气压也愈低。VM100真空泵油的闪点为206度，所以完全满足泵油的闪光点不得低于200度的要求。
(3)真空泵油的化学性质稳定，水分、水溶酸．水溶碱和其它杂质的含量要少。
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