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更加通用,耐用以及可靠Precis 200影像仪

详细说明更新时间:2017-12-07 11:10 浏览次数:44

全新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统开发而来,采用了VMM 公司最先进的设计和技术。
, 新款Precis 包含了很多可配置选项,使设备更加通用,耐用以及可靠。

  • 扩展了Z轴范围 – 2.5mm, 5mm or 100mm
  • 透射照明
  • 完整电子绘图 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 标准
  • 符合人体工程学的操作员控制台 ,带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, SEMI S8 符合
  • 全自动显微镜,所有设置计算机控制
  • 最佳分辨率像素摄像头
  • VIEW Metrology Software (VMS™) 可测组件很广泛, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差导入。
  • MMWin – 晶圆片 和Mask计量软件 –晶圆片的重要尺寸和迭置重合测量, 滑块 ABS,光掩模和平板显示器.
  •  
  • 标准                        可选
  • X,Y,Z行程(mm):        200 x 200 x 5               200 x 200 x 100
  • 最大载重:                 12 kg
  • XY精度:                    E1=(0.25+2L/1000)um
  • Z 精度:                     E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)
  • 分辨率:                    0.01 微米
  • 视场测量精度和重复性:0.01 μm (100x)
  • 直流伺服马达驱动

     


更加通用,耐用以及可靠Precis 200影像仪
产品网址:http://www.kuqiw.cn/4997/1077047.html
品牌 QVI/OGP/VIEW/RAM/Itaca 单价 1.00元/台 起订 1 台
供货总量 11 台 发货期限 自买家付款之日起 66 天内发货 所在地 广东 东莞市

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