在1500℃时，二氧化硅保护层达到一定的厚度，从而使硅碳棒的氧化速度变得极为缓慢，趋于稳定。如果继续升温至1627℃以上时，则二氧化硅保护薄膜受到破坏，氧化速度显著增加，造成硅碳棒过早损坏。 硅碳棒在使用过程中虽然氧化极为缓慢，但长时间运行仍然会导致电阻值增大。这种现象叫做“老化”。为了降低“老化”速度，可在制造过程中以独特的技术，在发热部的表面涂上保护层，能明显的增强硅碳棒的抗氧化性能，延长使用寿命
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