低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强潜在优势的高新技术，等离子体受到了国内外相关学科界的高度关注。
等离子废气处理设备适用范围广，净化效率高，尤其适用于其它方法难以处理的多组分恶臭气体，如化工、医药等行业。 占地面积小；电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用；运行费用低；反应快、停止十分迅速，随用随开。 一次性投资稍高。与目前国内常用的异味气体治理方法相比较。低温等离子体工业废气处理设备和技术具有更多的优势。
拥有比较持久废气处理性能的等离子废气处理设备在国内的环境保护工作中一直是受到大家信赖的。等离子废气处理设备可以处理不同浓度不同风量的废气，对于不同物质形态的废气分子净化效果比较稳定可靠。
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